賽可高分辨率(5nm)臺式電鏡

更新時(shí)間：2024-08-23

產(chǎn)品型號：SNE-4500M Plus

簡要描述：賽可高分辨率(5nm)臺式電鏡：賽可(SEC)SNE-4500M Plus臺式掃描電鏡是一款一款高性能，高配置的產(chǎn)品。

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賽可高分辨率(5nm)臺式電鏡簡介：

SNE-4500M Plus是一款高性能，高配置的產(chǎn)品。

賽可高分辨率(5nm)臺式電鏡主要特點(diǎn)：

1.Option: 冷臺（可達(dá)到-20°C）：

搭載冷臺防止含水樣品的脫水，維持樣品原貌，實(shí)現(xiàn)長時(shí)間對含水樣品的觀察和分析。

2.高性能臺式掃描電子顯微鏡：

SEC臺式電鏡最大放大倍率(底片放大倍率)為15萬倍, 可實(shí)現(xiàn)分辨率5nm@30kV(SE), 為目前同類臺式電鏡中最高分辨率。

寬泛的加速電壓范圍(1KV-30KV), 適合各種樣品的形貌觀察及元素分析，適用范圍廣。

1）配置頂部CCD相機(jī) ：具備彩色光學(xué)圖像導(dǎo)航功能，1:1彩色照片導(dǎo)航，便于尋找樣品，使操作變得更簡單。

2）5軸全自動樣品臺 Recipe Function：實(shí)現(xiàn)X、Y、Z、R（旋轉(zhuǎn)）和T（傾斜）五軸的自動移動，有利于多角度精細(xì)地觀察樣品。-45°~90°大范圍的傾斜角度，可以在不更換特定樣品臺的情況下直接進(jìn)行截面觀察。

3）Recipe Function：可保存6個(gè)觀察位置的坐標(biāo)信息，并可同時(shí)記錄當(dāng)時(shí)的觀察條件，以便用戶對有價(jià)值的區(qū)域進(jìn)行二次觀察和分析。

3.EDS System：

EDS（Energy Dispersive X-ray Spectrometer）是一種安裝在SEM（電子顯微鏡）上的分析樣品表面成分的裝置。

利用掃描電鏡的電子束作用在待分析樣品上，接收不同元素在電子束作用后所產(chǎn)生的特征X射線信號進(jìn)行定性和定量分析。

4.Ion Sputter Coater：

對樣品表面進(jìn)行鍍膜（Au/Pt)，提高成像效果的制樣儀器。在樣品表面覆蓋一層導(dǎo)電的金屬薄膜，有效消除荷電反應(yīng)及電子束對樣品表面的熱量損傷，并提高所需要的二次電子信號量。使非導(dǎo)電樣品的成像效果更加清晰。

*靶材：Au（黃金）or Pt （鉑金）

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